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求助:有關MEMS器件(傳感器，執(zhí)行器)的文獻精讀的總結報告

要求:1.MEMS器件的工作原理(圖+文字) 2.設計原理和計算過程(圖+文字+公式) 3.制造工藝簡述(圖+文字) 有寫過類似的大蝦幫幫忙啊~打包發(fā)到我郵箱3169155@qq.com 感激不盡!懸賞一定送上~
問 提問者：網(wǎng)友 2018-08-05
最佳回答
這可不是三言兩語能說的了得，誰有這功夫啊! 簡單說下吧: MEMS 和其他品牌的傳感器大同小異， 壓力傳感器種類主要歸結于傳感器的芯體不同，壓力傳感器芯體有多種陶瓷的芯體，擴散硅的芯體，濺射薄膜芯體，電容陶瓷的，應變片的，石英硅的， MEMS的 大概是陶瓷的 和擴散硅的 兩類! 原理:主要惠斯通電橋原理 傳感器QQ175821424
回答者：網(wǎng)友
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