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機械泵,擴散泵,及真空泵之間是什么關系?急需答案!謝謝

無!
提問者:網友 2017-09-24
最佳回答
機械泵,擴散泵都是真空泵.機械泵能達到的真空度較底,一般在10的負4次方托左右.擴散泵能達到的真空度較高,可達10的負8次方托或更高.擴散泵一般需要機械泵作前級,在達到一定真空度后才可啟動.
回答者:網友
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